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潔淨室是污染控制的基礎，是空氣過濾、分(fēn)配、優化(huà)、建築材料、設備的房(fáng)間(jiān)。在潔淨室極高的矽片制造鏈中，必須是一(yī)個(gè)沒有污染源的環境，一(yī)個(gè)超潔淨的車間(jiān)，才能(néng)正常批量生(shēng)産矽片零件。
與國外相比，我國潔淨室的發展起步較晚。在過去的二十年裏，随着越來(lái)越多的外國公司在中國設立或合資企業，一(yī)些(xiē)高科技企業對生(shēng)産環境提出了(le)要求。為(wèi)了(le)增強競争力，各行各業都開始追求潔淨室的質量。
正确合理(lǐ)的設計是保證潔淨室穩定運行的前提。在實際使用中，不正确的維護和不規範的管理(lǐ)會降低(dī)潔淨室的空氣潔淨度，導緻潔淨室指标達不到要求。因此，正确、科學地維護和管理(lǐ)潔淨室至關(guān)重要，應從各個(gè)方面加以完善。
潔淨室人(rén)員(yuán)控制
經檢測分(fēn)析，潔淨室80%的微污染是由工作(zuò)人(rén)員(yuán)造成的。當工作(zuò)人(rén)員(yuán)進出潔淨室時(shí)，粉塵顯著增加，潔淨度立即惡化(huà)。因此，進入潔淨室前，員(yuán)工應做好(hǎo)(hǎo)清潔、擦拭等防塵動作(zuò)，企業也(yě)應培訓員(yuán)工，制定相應的章程和制度。
潔淨室物品管理(lǐ)
工作(zuò)人(rén)員(yuán)會帶入灰塵，所以所有的材料和設備也(yě)會影響潔淨室的清潔。當物流和設備進入時(shí)，不要将任何顆粒或微生(shēng)物帶入房(fáng)間(jiān)。工作(zuò)人(rén)員(yuán)應在潔淨室穿幹淨的衣服，用無塵紙擦拭材料和設備。運輸時(shí)，應在地闆上(shàng)鋪設幹淨的不鏽鋼闆，以防損壞地闆。
潔淨室定期檢查
對于潔淨室的各種設備，進入無塵室後，應經常清洗消毒，并定期檢查，防止無塵室中灰塵顆粒和微生(shēng)物的産生(shēng)、繁殖和滞留。
潔淨室系統構建和維護
潔淨室除了(le)防止灰塵進入外，還應配備淨化(huà)空調系統、水電系統、生(shēng)産工藝設備等各種設備設施，确保潔淨室空氣潔淨度等級的使用符合産品生(shēng)産工藝的要求。在系統的正常運行中，維護也(yě)至關(guān)重要。比如(rú)空氣過濾器(qì)是否正常暢通，密封墊是否牢固，鼓風(fēng)機軸承是否正常運轉。每一(yī)項都影響系統的運行，所以不能(néng)省略。
現(xiàn)在為(wèi)了(le)滿足各行業的需求，大部分(fēn)潔淨室都會選擇“量身(shēn)定做”。應盡可能(néng)建立完善的制度，防止後續問題影響潔淨室的使用，浪費時(shí)間(jiān)和金(jīn)錢(qián)。很多缺乏這(zhè)方面重要性意識的企業，最後都後悔了(le)，但(dàn)為(wèi)時(shí)已晚。
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