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靜電是淨化(huà)車間(jiān)最難控制的因素之一(yī)，它會增加半導體(tǐ)器(qì)件生(shēng)産中的廢品，降低(dī)電子(zǐ)設備的可靠性。因此，在半導體(tǐ)器(qì)件的生(shēng)産中，有必要在所有制造階段防止靜電作(zuò)用在器(qì)件上(shàng)。
消除靜電的方法有很多，有防靜電環境要求的淨化(huà)車間(jiān)項目一(yī)般采用以下(xià)方法：
一(yī)、選擇合适的材料
淨化(huà)車間(jiān)裝修應使用不易産生(shēng)靜電或産生(shēng)靜電後能(néng)迅速洩漏的材料。當多種材料一(yī)起使用時(shí)，應選擇電氣順序表中位置相近的材料。所有材料都可以分(fēn)為(wèi)電導體(tǐ)或電絕緣體(tǐ)。導體(tǐ)是電流可以通過的材料，絕緣體(tǐ)是電流不能(néng)通過的材料。
二、接地
接地是消除帶電導體(tǐ)靜電最常見、最經濟、最簡單、最可靠的方法。
1、淨化(huà)車間(jiān)内可能(néng)産生(shēng)靜電危害的設備、流動液體(tǐ)、氣體(tǐ)或粉末管道應采取防靜電接地措施。
2、電子(zǐ)行業潔淨室的圍護結構(天花闆、地闆、牆壁、立柱)應進行防靜電裝飾，抑制灰塵的帶電吸附。
3、工藝設備接地。
4、辦公設備應由抗靜電材料制成并接地。
5、工人(rén)應穿防靜電無塵衣服、鞋、帽、手套、腕帶等。
三、中和
帶電體(tǐ)周圍的空氣電離後(靜電)，帶電離子(zǐ)在電磁場(chǎng)作(zuò)用下(xià)遷移，帶電體(tǐ)吸引相反的電荷，中和消除靜電。靜電消除器(qì)是一(yī)種能(néng)産生(shēng)電子(zǐ)和離子(zǐ)的裝置。靜電消除器(qì)産生(shēng)的電子(zǐ)和離子(zǐ)中和帶電體(tǐ)上(shàng)的相反電荷，從而消除靜電。絕緣材料和空氣表面的靜電荷必須通過靜電中和來(lái)消除。
四、濕度控制
在許多消除靜電的方法中，室内濕度控制也(yě)可以用來(lái)減少和消除淨化(huà)車間(jiān)的靜電。通過保持環境中的高相對濕度，在該區域的物體(tǐ)表面将形成一(yī)層薄的濕氣層，并且該薄層将用于提供導電通道，使得可能(néng)的電荷可以流過濕氣層以消散靜電荷。此外，薄的水分(fēn)層可以增加物體(tǐ)表面的潤滑性，摩擦電也(yě)會降低(dī)。一(yī)般來(lái)說(shuō)，濕度越低(dī)，産生(shēng)的電荷越多。然而，數據顯示，即使當濕度高時(shí)，也(yě)會産生(shēng)顯著的靜電電壓。但(dàn)是，在高濕度環境下(xià)，生(shēng)産人(rén)員(yuán)可能(néng)會感到非常不舒服，零件可能(néng)會生(shēng)鏽，導緻焊接性問題。同時(shí)，試圖通過濕度控制來(lái)消除靜電顯然是昂貴的，尤其是在幹燥地區。
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