1、無塵潔淨室是指為(wèi)消除一(yī)定空間(jiān)内空氣中的顆粒、細菌等污染物,将室内溫度、潔淨度、室内壓力、氣流速度及分(fēn)布、噪聲振動、照明、靜電控制在一(yī)定需求範圍内而專門設計建造的無塵潔淨室。
2、潔淨室原則。潔淨室是一(yī)種使用HEPA和空氣淨化(huà)設備,其塵埃的收集率在99.97~99.99995%,所以用這(zhè)種過濾器(qì)過濾的空氣可以說(shuō)是非常幹淨的。但(dàn)是潔淨室除了(le)人(rén),還有機器(qì)等塵源。一(yī)旦這(zhè)些(xiē)産生(shēng)的灰塵擴散,就(jiù)不可能(néng)保持一(yī)個(gè)幹淨的空間(jiān)。因此,有必要利用氣流将産生(shēng)的灰塵快(kuài)速排出室外。
![無塵潔淨室的一(yī)些(xiē)基本常識](../../static/picture/1-2102241P12O64.jpg)
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3、潔淨室的三個(gè)灰塵。潔淨室有三個(gè)原則:禁塵、帶塵、産塵。空氣淋浴房(fáng)作(zuò)為(wèi)進入潔淨室的緩沖通道之一(yī),是控制灰塵的最佳淨化(huà)設備之一(yī),可以最大限度地減少員(yuán)工進出潔淨室帶來(lái)的污染問題。淋浴房(fáng)的兩個(gè)門是電子(zǐ)聯鎖的,也(yě)可以作(zuò)為(wèi)氣閘室,防止外界污染和未淨化(huà)的空氣進入無塵潔淨區,達到生(shēng)産車間(jiān)所需的生(shēng)産潔淨環境。
4、潔淨室最重要的作(zuò)用是控制潔淨度日和産品(如(rú)矽片等)所在大氣的溫濕度。讓産品在良好(hǎo)(hǎo)的環境空間(jiān)裏生(shēng)産制造,我們稱之為(wèi)潔淨室。根據國際慣例,無塵淨化(huà)水平主要是根據每立方米空氣中直徑大于分(fēn)類标準的顆粒數量來(lái)定義的。也(yě)就(jiù)是說(shuō),無塵不是100%無塵,而是控制在極少量的單位。當然,這(zhè)個(gè)标準中符合塵埃标準的顆粒相對于我們常見的塵埃來(lái)說(shuō)是非常小的,但(dàn)是對于光學結構來(lái)說(shuō),哪怕是一(yī)點點塵埃都會産生(shēng)非常大的負面影響,所以無塵是光學結構産品生(shēng)産中的必然要求。
将粒徑小于0.5微米的粉塵數量控制在每立方米3500以下(xià),達到國際無塵标準A級。目前芯片級生(shēng)産加工應用的無塵标準對粉塵的要求比A級高,這(zhè)樣高的标準主要用于一(yī)些(xiē)高等級的芯片生(shēng)産。粉塵量嚴格控制在每立方米1000以内,也(yě)就(jiù)是業内俗稱的1K級。
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